Полупроводник

12 мар. 1971 г.

3 июл. 1985 г.

19 сент. 2013 г.

8 дек. 2006 г.

15 дек. 2009 г.

16 июл. 2008 г.

14 мар. 1972 г.

28 дек. 2001 г.

17 окт. 2006 г.

17 июл. 2009 г.

18 нояб. 1997 г.

31 янв. 2013 г.

23 сент. 1994 г.

10 сент. 1994 г.

17 июн. 2004 г.

19 мар. 2004 г.

10 нояб. 2016 г.

20 нояб. 2012 г.

21 сент. 2007 г.

3 апр. 2018 г.